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产品分类
产品简介
系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet(ppm) | 出口 Outlet(ppb) |
HON-H-X | O2 | <3 | <1 |
N2 | <1 | <1 | |
CO | <1 | <1 | |
CO2 | <1 | <1 | |
THC | <1 | <1 | |
H2O | <3 | <1 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | <1bar | ||
Flow | 10~500Nm3/h |
基于不懈的技术创新,严格的品质管理和国内制造的成本优势,科立恩以实用的产品,专业的服务,合理的价格为客户提供高性价比的气体纯化解决方案。
半导体纯化器项目业绩:西安三星半导体,宁波中芯国际,绍兴中芯国际,合肥维信诺,普兴电子,泉芯半导体,新加坡siltronics,无锡华润,宁夏中欣晶圆半导体等。
电子材料行业的业绩:合肥正帆,泉州博纯,中船重工718所,岳阳凯美特,台湾元佳宇等。
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