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产品分类
产品简介
系列 Series | 杂质 Impurity | 入口 Inlet（ppm） | 出口 Outlet（ppb） |
CRYO-H-S | O2 | ＜1 | ＜10 |
N2 | ＜5 | ＜10 | |
CO | ＜1 | ＜10 | |
CO2 | ＜1 | ＜10 | |
THC | ＜1 | ＜10 | |
H2O | ＜3 | ＜10 | |
PARTICLES | -- | ≤10pcs/m3, 0.003μm | |
Pressure Drop | ＜1bar | ||
Flow | 10～300Nm3/h | ||
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